首片國產(chǎn)6英寸碳化硅MOSFET晶圓在滬誕生

從臨港科技城獲悉，第一片國產(chǎn)6英寸碳化硅(SiC)MOSFET晶圓日前在該園區(qū)企業(yè)上海瞻芯電子科技有限公司誕生。
單晶碳化硅是一種新穎的半導(dǎo)體材料，具有高禁帶寬度、高擊穿場強和高熱導(dǎo)率等優(yōu)良特性，成為制作高溫、高頻和大功率電力電子器件的理想半導(dǎo)體材料。由于它制成的MOSFET(金屬氧化物場效應(yīng)晶體管)器件，開關(guān)速度數(shù)倍于傳統(tǒng)硅基產(chǎn)品，因此用它開發(fā)出的電動車電控系統(tǒng)重量可減輕約三分之二，體積可縮小80%。
近年來，隨著6英寸碳化硅晶圓在國際上的大規(guī)模投產(chǎn)，綠色節(jié)能的碳化硅半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈正在逐步形成中。“它能為電力電子芯片產(chǎn)品的升級提供核心保證。”瞻芯電子的相關(guān)負責(zé)人介紹，這種芯片將推進混合和純電動汽車、太陽能光伏、風(fēng)力發(fā)電、高鐵及軌道交通、智能電網(wǎng)、智能家電以及航空航天等產(chǎn)業(yè)發(fā)生革命性的改變。
該公司去年7月在上海臨港科技城正式注冊成立，在不到一年時間里，完成了芯片設(shè)計，并成功地在一條成熟量產(chǎn)的6英寸工藝生產(chǎn)線上，完成了碳化硅(SiC)MOSFET的制造流程。晶圓級測試結(jié)果表明，各項電學(xué)參數(shù)達到預(yù)期。
目前，國內(nèi)相關(guān)行業(yè)龍頭企業(yè)比亞迪、陽光電源和華為等都已經(jīng)在旗艦產(chǎn)品系列中廣泛使用了碳化硅MOSFET。國際上，歐洲的350千瓦超級充電站已經(jīng)采用了此類模塊產(chǎn)品；新一代新能源車里的雙向車載充電器以及高性能電驅(qū)動單元，也成為此類器件應(yīng)用的絕佳場所。
右圖：第一片國產(chǎn)6英寸碳化硅MOSFET晶圓成功打通工藝流程，今后將運用于多個行業(yè)。

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